美國(guó)愛(ài)佩儀6D激光干涉儀

美國(guó)愛(ài)佩儀6D激光干涉儀

API激光干涉儀技術(shù)參數(shù)：

5D/6DAPI激光干涉儀標(biāo)準(zhǔn)型： 

1. 愛(ài)佩儀激光干涉儀線性：0.5ppm 

2. 測(cè)量范圍：40米（1D可選80米） 

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 

4. 大范圍：800角秒 

5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 

6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 

7. 大范圍：500um 

8. 垂直度精度：1角秒 

9. 溫度：0.2攝氏度 

10.濕度：5% 

11.壓力：1mmHg 

5D/6DAPI激光干涉儀精密型： 

1. 線性：0.2ppm 

2. 測(cè)量范圍：25米 

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 

4. 大范圍：400角秒 

5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 

6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 

7. 大范圍：300um 

8. 垂直度精度：0.5角秒 

9. 溫度：0.1攝氏度 

10.濕度：3% 

11.壓力：0.3mmHg 

5D/6DAPI激光干涉儀高精密型： 

1. 線性：0.2ppm 

2. 測(cè)量范圍：根據(jù)用戶(hù)要求而定 

3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 

4. 大范圍：500角秒 

5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 

6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 

7. 大范圍：100um 

8. 垂直度精度：0.5角秒 

9. 溫度：0.1攝氏度 

10.濕度：3% 

11.壓力：0.3mmHg